لیتوگرافی چیست؟

معرفی لیتوگرافی نوری و لیتوگرافی نرم امروزه با رشد اکثر صنایع از جمله صنعت میکروالکترونیک، ابعاد اجزا در این سیستم‌ها و به خصوص در مدارهای میکروالکترونیک به طور مداوم در حال کوچک شدن است. از این رو صنعت، نیازمند استفاده از روش‌هایی جهت ساخت قطعات در ابعاد نانو است. امروزه تلاش‌های گسترده‌ای برای پیشرفت روش‌های […]